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Microscopi elettronici a scansione a emissione a campo ad ultra alta risoluzione Regulus
I modelli SU8240, SU8230, SU8220 e SU8010 sono stati reintegrati in Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 e Regulus 8100. La serie Regulus eredita
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Microscopi elettronici a scansione a emissione a campo ad ultra alta risoluzione Regulus
I modelli SU8240, SU8230, SU8220 e SU8010 sono stati reintegrati in Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 e Regulus 8100.
La serie Regulus eredita le prestazioni di osservazione e analisi dei modelli esistenti con la pistola elettronica a campo freddo a basso rumore della serie SU8200*1Può essere ottenuto un flusso di alta stabilità.
Ottimizzando il sistema ottico elettronico, Regulus 8240/8230/8220 aumenta la risoluzione a 0,7 nm in condizioni di 1 kV e Regulus 8100 a 0,8 nm.
Inoltre, per sfruttare appieno la capacità di ultra-alta risoluzione, l'ingrandimento è aumentato da 1 milione a 2 milioni di volte.*1- Ma.
Regulus 8240/8230/8220/8100 fornisce anche un supporto utente che facilita la comprensione dei principi di rilevamento di una varietà di segnali complessi e aiuta gli utenti a sfruttare al meglio le prestazioni dello strumento.
- *1
- Solo Regulus 8240/8230/8220
-
Caratteristiche
-
specifiche
Caratteristiche
- Pistola elettronica a campo freddo della serie SU8200*2
- L'utilizzo dell'area di stabilizzazione ad alta luminosità del fascio di elettroni che appare dopo il lampeggio come intervallo di osservazione stabile consente prestazioni ottimali per l'osservazione e l'analisi ad alta risoluzione in condizioni di bassa tensione di accelerazione
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Magazzino campioni ad alto vuoto e poco inquinante
- Utilizzando un filtro energetico (opzionale), è possibile osservare diversi contrasti di componenti*2
Osservazione ad alta risoluzione a bassissima tensione di atterraggio
Campione: Particelle d'oro
Tensione di atterraggio: 10 V
Osservazione ad alta risoluzione
Campione: catalizzatore Pt
Tensione di accelerazione: 30 kV
Analisi EDX ad alta risoluzione a bassa accelerazione
Esempio: Palle Sn
Tensione di atterraggio: 1,5 kV
- *2
- Solo Regulus 8240/8230/8220
specifiche
| Progetto | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Risoluzione elettronica secondaria | 0.7 nm (tensione di accelerazione 15 kV) 0.8 nm (tensione di atterraggio 1 kV)*3 |
0,6 nm (tensione di accelerazione 15 kV) 0,7 nm (tensione di atterraggio 1 kV)*3 |
|||||
| Tensione di atterraggio | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| ingrandire | 20-1.000.000 volte*4 | 20-2.000.000 volte*4 | |||||
| Banca campioni | Controllo del campione | Motore a 3 assi (motore a 5 assi opzionale) | Azionamento motore a 5 assi | ||||
| Intervalo di movimento | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| Riproducibilità | - | - | - | ±0,5 μm fino a ±0,5 μm | |||
- *3
- Osservazione in modalità rallentamento
- *4
- Magnificazione basata sul substrato da 127 mm x 95 mm
Categorie di prodotti correlate
- Sistema a fascio ionico focalizzato (FIB/FIB-SEM)
- Dispositivo di pre-trattamento dei campioni TEM/SEM
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